人体工学设计,快速、精确、高效检查及缺陷分析系统!
Leica DM8000 M——高效率检查及缺陷分析系统
徕卡 DM8000 M 提供了全新的光学设计,如理想的宏观检查模式或者倾斜紫外光 (OUV, 随检UV 选择) 不但提高了分辨能力,同时也增加了观察 8’’/200 毫米直径大样品时的产量。
该机照明基于最新的 LED 科技,一体化整合在显微镜机身上。 低热辐射效应和一体化内置技术确保了显微镜四周空间具有理想化的空气环流。 LED的超长使用寿命和低能耗特性大大降低了用户今后的使用成本。只要一指按键就可以切换放大倍率、照明模式或相衬模式。
品质特征
● 高级智能数字式正置材料显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、电子元器件,粉尘颗粒等样品的观察分析,多种安全设计,保护晶圆,镜头及观察者;
● 模块化设计,可实现反射观察、透反射观察配置;
● 复消色差光路,整体光路支撑25mm视野直径;
● 可选配UV光源,提高观察分辨率至亚微米结构,UV由大功率LED产生,具有UV和0UV功能;
● 8x8大样品台,可实现最大8"晶圆的直接观察;
● 6孔位电动物镜转盘,配接32mm直径长工作距离工业物镜;
● 内置电动或手动调焦系统;
● 独有0.7X宏观物镜,具有宏观晶圆检查功能;
● 可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明观察方式;
● 机身内置LED透、反射照明电源,智能光强变化控制照明方式;
● 能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、光阑大小及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速;
● 机座配触摸按钮,控制显微镜的操作;
● 光强、光阑、观察方式和聚光镜调节可由按键和计算机控制操作,并自动在不同倍数物镜下拍的照片中加相应倍数标尺;
● 具有色温恒定系统,提供工作效率;
● 可连接晶圆搬送机进行连续工作;
● 可配接摄像头,数码相机进行图像采集、分析、测量;
● 可配接荧光观察、高温热台、阴极发光仪、光度计;
● 可配接自动扫描台进行多视场非金属夹杂物分析和颗粒粒度、清洁度分析。
参数/型号 | Leica DM 8000M |
光学系统 | Leica HC 光学器件 (光学系统校正至无限远) |
观察镜筒 | 三目人工学镜筒,直立和同向图像 |
切换位置 (目镜/摄像头): 100/0 和 0/100,100/0 和 50/50 | |
宏观成像 | 超广视野概览图像,样品上最大扫描区域 40 mm |
照明系统 | 全 LED 入射光照明;观察技术:亮场、暗场、微分干涉相衬、定性偏振、斜射照明、紫外线、斜射紫外线 |
全 LED 透射光照明;观察技术:亮场、定性偏振 | |
状态反馈 | 正面的状态指示器 |
工作间隔指示器 (仪器背面) | |
操作支撑 | 内置相衬管理器及科勒照明管理系统 |
物镜转换盘 | 手动检验载物台 8 x 8”,202 x 202 mm 移动范围,内置快速调节 |
扫描载物台 8 x 8”;202 x 202 mm 移动范围,电动,4 mm 高度 | |
控制单元 | 操纵杆,带 4 个可自由编程的功能键 |
Leica SmartMove,x、y、z 控制,带 4 个可自由编程的功能键 | |
Leica STP6000 SmartTouch,x、y、z 控制,带 4 个可自由编程的功能键 | |
聚焦 | 耐用型手动 2 级聚焦,粗调和微调模式;35 mm 移动范围;高度可调式聚焦手柄 |
精准 3 级聚焦,粗调、微调和超微调模式;35 mm 调节范围;高度可调式聚焦手柄 | |
电动 2 级聚焦;35 mm 移动范围;强重复能力;齐焦补偿 | |
电气系统 | 供电电压:100120/220–240 V AC (%),50/60 Hz |
重量 | 约 52 kg (其中显微镜约 36.5 kg) |
应用 | 圆晶、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒 |